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● 無差分泵Z方向旋轉，確保在旋轉過程中不漏氣

● 樣品可連續(xù)旋轉，保證薄膜生長的均勻性;轉動速度1-30 rpm可調

● Z軸運動低阻尼設計，使用更省力穩(wěn)定

● 采用進口交叉滾珠導軌，運動平穩(wěn)，保證每軸運動的直線度，無偏擺，俯仰

● 可選Z軸恒力彈簧，消除外界壓力，使操作流暢

● 測微頭驅動，定量讀數，達到高的調整精度



五軸晶圓樣品操作臺（Wafer Manipulator）