● 無差分泵Z方向旋轉(zhuǎn),保證在旋轉(zhuǎn)過程中不漏氣
● 液氮直接制冷,制冷效率更高
● X軸偏轉(zhuǎn)緊湊設(shè)計,性能更可靠
● Z軸運動低阻尼設(shè)計,使用更省力穩(wěn)定.
● 采用進口交叉滾珠導(dǎo)軌,運動平穩(wěn),保證每軸運動的直線度,無偏擺,俯仰
● 可選Z軸恒力彈簧,消除外界壓力,使操作流暢
● 測微頭驅(qū)動,定量讀數(shù),達(dá)到高的調(diào)整精度
五軸樣品操作臺(Manipulator)
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