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● 結(jié)構(gòu)緊湊,集成水冷和擋板

● 蒸發(fā)源長度可定制

● 水冷水阻低(2 x 106Pa.s/L) ,能使用較低的循環(huán)水壓,制冷效率高

● 本底真空低,1000°C背景真空優(yōu)于1.3 X 10-10 mbar, 1200C背景真空優(yōu)于4.5x 10-10 mbar

● 一體成型接口法蘭,無焊接漏氣風(fēng)險,定位更準(zhǔn)確

● 活動不掉落法蘭,安裝調(diào)整方便,防止刀口損壞

● 溫度范圍廣:全系列覆蓋室溫~1800°C

● 特制耐氧蒸發(fā)源可以耐受高 氧氣壓力1 x10~3 mbar

● 可配置自動擋板和程序控制系統(tǒng)




MBE蒸發(fā)源(Knudsen Cell)