（1）窒息

MBE外延設(shè)備要在超高真空條件下工作，需要使用氮?dú)庠创祾咧脫Q；噴射爐的爐口需使用液氮進(jìn)行屏蔽。在現(xiàn)場設(shè)置氮?dú)?液氮鋼瓶或者通過管道輸送氮?dú)?液氮，如果氮?dú)馄堪踩郊积R全或有缺陷，氮?dú)?液氮管道的閥門、零件等腐蝕或存在缺陷，可能發(fā)生氣瓶或管道的泄漏，如果作業(yè)場所通風(fēng)不良，人員防護(hù)不當(dāng)，會(huì)引發(fā)人員窒息事故。

（2）灼燙

MBE外延設(shè)備噴射爐的爐口需使用液氮進(jìn)行屏蔽，在現(xiàn)場設(shè)置液氮鋼瓶或者通過管道輸送液氮，如果液氮鋼瓶/液氮管道的閥門、零件等腐蝕或存在缺陷，可能發(fā)生氣瓶或管道的泄漏，人員防護(hù)不當(dāng)，發(fā)生低溫灼燙事故。

MBE外延設(shè)備屬于高溫設(shè)備，如果設(shè)備本身未采取防護(hù)隔離措施，人員防護(hù)不當(dāng)，可能發(fā)生灼燙事故。

（3）爆炸（含容器爆炸）

該工藝需使用冷卻水進(jìn)行設(shè)備保冷，如果冷卻水供應(yīng)不足，在高溫下，可能發(fā)生設(shè)備爆炸。氮?dú)庠词褂脷馄康那闆r下，氣瓶安全附件不齊全、氣瓶本體有缺陷、未設(shè)防倒設(shè)施等情況，可能造成氣瓶爆炸。

（4）觸電

直接接觸裸露帶電零件或在故障條件下變?yōu)閹щ姷牧慵?，尤其是絕緣失效而導(dǎo)致的帶電零件，可能造成的電擊、電灼傷等危險(xiǎn)。